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半導体ガスフィルター

NAScleanは、ミクロンオーダーのステンレス鋼短繊維(SUS316L)を焼結した薄層のメタルメンブレンフィルターです。半導体・フラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルなどの生産過程に用いられるガスの濾過に、フィルター濾材(ステンレス鋼短繊維)から最終製品まで一貫生産して貢献いたします。

プロセスガス用
プロセスガス用

・世界で唯一、ステンレス鋼短繊維を用いたメタルメンブレンフィルターです。
・圧力損失が低く、高除粒子性能を実現。
・100SLM以下の流量に適しており、各種プロセスガスにご使用できます。

バルクガス用
バルクガス用

・フィルターメディア形状をプリーツ化し、高流量でも低い圧力損失を実現。
・オールメタルのため高温ベーキングが可能。
・3000Nm3/hrまでの大流量に対応。

機器保護用
機器保護用

・MFC、バルブ、レギュレーターなどの機器保護用フィルター。
・使用条件に合わせて、低圧タイプ、高圧タイプから選定可能。
・既存配管でも取付け可能。

IGSパネル用
IGSパネル用

・集積型ガスパネル用フィルター、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Sealに対応。
・プリーツ型メディアの採用により、小型化を実現。
・メカニカルシールの採用により、メディア部に溶接レス構造。

ディフィーザー用
ディフィーザー用

・プリーツ型メディアの採用により、高速ベントが可能。
・パーティクル巻上げを防止し製品歩留まりに貢献。
・設置スペースに合わせた設計が可能。

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