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半导体气体过滤器

NAS clean是烧结微米级不锈钢短纤维(SUS316L)后制成的薄层金属膜过滤器。在半导体、平板显示器、太阳能电池板等产品的生产过程中使用的气体过滤器中,我们全套生产过滤材料(不锈钢短纤维)及最终产品,贡献客户。

工艺气体专用过滤器
For Process Gases
  • ・ 世界唯一采用不锈钢短纤维制成的金属膜过滤器。
  • ・ 压力损失低,可实现高效除微粒性能。
  • ・ 适用于100SLM以下流量,可用于各种工艺气体。
大宗气体专用
For Bulk Gases
  • ・ 过滤器介质形状制成皱褟状,高流量也可实现低压力损失。
  • ・ 全金属材料,可高温焙烤。
  • ・ 适用于最大3000Nm3/h的大流量。
仪器保护专用过滤器
For Component Protection
  • ・ MFC、阀门、稳压器等仪器保护专用过滤器。
  • ・ 根据使用条件,可选择低压型或高压型。
  • ・ 也可在现有配管上安装。
IGS面板专用过滤器
For IGS Panels
  • ・ 聚集型气体面板专用过滤器,适用于1.125W-Seal、1.125C-Seal及1.5W-Seal。
  • ・ 通过采用皱褟型介质,实现了小型化。
  • ・ 采用机械密封,结构上与介质无焊接。
扩散器专用过滤器
For Diffusers
  • ・采用皱褟型介质,可高速排气。
  • ・防止微粒混入,帮助提高产品合格率。
  • ・可根据安装空间进行设计。

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