NASclean®は、ミクロンオーダーのステンレス鋼短繊維（SUS316L）を焼結した薄層のメタルメンブレンフィルターです。半導体・フラットパネルディスプレイ、太陽電池パネル等の生産過程に用いられるガスの濾過に、フィルター濾材（ステンレス鋼短繊維）から最終製品まで一貫生産して貢献いたします。
プロセスガス用
- 世界で唯一、ステンレス鋼短繊維を用いたメタルメンブレンフィルターです。
- 圧力損失が低く、高除粒子性能を実現。
- 100SLM以下の流量に適しており、各種プロセスガスにご使用可能。
バルクガス用
- フィルターメディア形状をプリーツ化し、高流量でも低い圧力損失を実現。
- オールメタルのため高温ベーキングが可能。
- 3000Nm3/hrまでの大流量に対応。
機器保護用
- MFC、バルブ、レギュレーター等の機器保護用フィルター。
- 使用条件に合わせて、低圧タイプ、高圧タイプから選定可能。
- 既存配管でも取付け可能。
IGSパネル用
- 集積型ガスパネル用フィルター、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Sealに対応。
- プリーツ型メディアの採用により、小型化を実現。
- メカニカルシールの採用により、メディア部に溶接レス構造。
ディフィーザー用
- プリーツ型メディアの採用により、高速ベントが可能。
- パーティクル巻上げを防止し製品歩留まりに貢献。
- 設置スペースに合わせた設計が可能。